激光全息光刻法制作光子晶體LED

激光全息光刻技術(shù)利用光的干涉衍射特性，通過(guò)特定的光束組合方式，來(lái)調(diào)控干涉場(chǎng)內(nèi)的光強(qiáng)度分布，并用感光材料記錄下來(lái)，從而產(chǎn)生光刻圖形。